服務(wù)熱線
| 品牌 | KOSAKA/小坂研究所 |
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臺(tái)階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)
KOSAKA小坂臺(tái)階儀薄膜測厚儀微細(xì)形狀測定機(jī)
| 最大試片尺寸 | 210×210mm~300×400mm |
|---|---|
| 重現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以內(nèi) |
| 測定范圍 | Z:100um X:100～305mm (Y移動(dòng)量:150~400mm) |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
臺(tái)階儀可以應(yīng)用在半導(dǎo)體，光伏/太陽能，光電子，化合物半導(dǎo)體，OLED，生物醫(yī)藥，PCB封裝等領(lǐng)域的薄膜厚度，臺(tái)階儀測量薄膜厚度,臺(tái)階高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），劃痕深度，磨損深度，薄膜應(yīng)力（曲定量率半徑法）等定量測量方面。其高精度，高重復(fù)性，自動(dòng)探索樣品表面
KOSAKA小坂臺(tái)階儀薄膜測厚儀微細(xì)形狀測定機(jī)
● 高精度．安定性．機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測定的機(jī)型。
● 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測定機(jī)，針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。
● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測量。
● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測定機(jī)。
● ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測定機(jī)。
● ET4300一適合12"樣品測量。