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KOSAKA小坂三鷹光器激光點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦3D形狀測(cè)量機(jī)NH-3Ns Mitaka NH-3Ns 的點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦3D形狀測(cè)量機(jī)，是NH系列的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型。NH系列適合測(cè)量的樣品案例：錫膏量、HDD讀頭、高密度印刷電路板、指紋、發(fā)絲、鉆石研磨粒、刀具端面、BGA、硅片翹曲與波紋度…

KOSAKA小坂研究所高精度點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦3D測(cè)量機(jī) MITAKA 三鷹光器 | 高精度點(diǎn)自動(dòng)對(duì)焦3D測(cè)量機(jī)型號(hào)：NH-3SPsNH-3SPs是NH系列的高精度機(jī)型。NH-3SPs適合測(cè)量的樣品案例：非球面樣品、菲涅爾透鏡、光柵、不平坦的金屬薄膜…

KOSAKA小坂研究所激光共聚焦3D形貌測(cè)量?jī)x ● 緊湊型3D量測(cè)設(shè)備。● 安裝移動(dòng)迅速便捷?！?適用于所有基板類型。● 多樣化的應(yīng)用選擇?！?工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)端口。

KOSAKA小坂研究所半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備 ● 高成本效益設(shè)備?！?一次掃描涵蓋所有凸塊，產(chǎn)出真實(shí)3D數(shù)據(jù)?！?適用于SEMI標(biāo)準(zhǔn)?！?適用于所有基板類型?！?C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …?！?適用于4”，6”，8”晶圓 ?！?工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)端口。

KOSAKA小坂研究所半導(dǎo)體探針卡檢測(cè)設(shè)備 ● 承載量 50 kg?！?專用探針卡盤；RFID 卡識(shí)別?！?適用于SEMI以及SECS/GEM協(xié)議?！?MEMS式, 垂直式, 懸臂式探針卡?！?評(píng)估晶圓磨損與探針尖/頭的相關(guān)性?！?探測(cè)探針卡表面異物與表面堵塞情況?！?持續(xù)監(jiān)測(cè)耗損狀況, 精確預(yù)測(cè)使用壽命?！?迅速評(píng)估, 精準(zhǔn)定位, 大幅降

KOSAKA小坂研究所μsprint傳感器 ● 測(cè)量速度快?！?激光共聚焦技術(shù)-多線掃描。C3-128 channelC3X-256 channel● 2D/3D形貌?！?適合半導(dǎo)體缺陷檢查?！?適合生產(chǎn)線管控。

小坂研究所KOSAKANanoFocus | μsurf傳感器 ● 分辨率高。● LED共聚焦技術(shù)-片狀掃描。● Multi-pinhole設(shè)計(jì)?！?分辨率最高可達(dá)2nm?！?3D表面粗糙度?！?3D表面形貌結(jié)構(gòu)。

KOSAKA小坂研究所μscan傳感器 ● 測(cè)量范圍大?！?LED共聚焦技術(shù)-單線/多線掃描192channel?！?焦距調(diào)節(jié)范圍1-4mm?！?2D/3D表面形貌結(jié)構(gòu)。● 表面粗糙度測(cè)量。● 可透過(guò)光波反射測(cè)量透明膜厚、膜層上下表面結(jié)構(gòu)、缺陷檢查。

小坂研究所KOSAKA半導(dǎo)體晶圓檢測(cè)設(shè)備 ● 高速度，高精度，高產(chǎn)出。● 優(yōu)化的占地面積和尺寸?！?適用于SEMI以及SECS/GEM協(xié)議?！?晶圓, MEMS, 陶瓷基板, PCB板, …。● C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, Gold bump?！?適用于4”，6”，8”晶圓 。● 一次掃描涵蓋所有凸塊產(chǎn)出真實(shí) 3D 數(shù)據(jù)。

小坂KOSAKA微細(xì)深孔測(cè)量?jī)x 配備劃時(shí)代意義的高精度檢出控制系統(tǒng)∶可檢出微小形狀。可測(cè)量最小孔徑10μm/最大深度300μm的孔內(nèi)形狀。高分辨率∶ 10nm 可實(shí)現(xiàn)低測(cè)定壓∶ 1pN以下。采用高彈性光纖維測(cè)針?？蓽y(cè)量深孔的內(nèi)徑/外徑/深度、溝槽的內(nèi)寬/外寬/深度、壁面。具有解析功能∶ 真圓度、圓柱度、直徑、段差、槽寬、直角度、粗糙度等多種解析功能?？赏ㄟ^(guò)軟件編程實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量。搭載測(cè)針自動(dòng)切換裝置

小坂研究所KOSAKA 短關(guān)節(jié)臂 使用高感度的鐳射掃描ApiScan ? 誰(shuí)都可以簡(jiǎn)單測(cè)量的3D小型關(guān)節(jié)臂測(cè)量?jī)x，方便移動(dòng)，節(jié)約空間，操作自由度高。 ? 孔徑、突起、端面、螺紋等的微細(xì)形狀也可測(cè)量。 ? 可對(duì)比CAD數(shù)據(jù)，解決人為誤差。

KOSAKA臺(tái)階儀薄膜測(cè)厚儀微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)ET4000系列 ● 高精度．安定性．機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。 ● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。 ● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。 ● ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。 ● ET4300一適合12“樣品測(cè)量。