理研RIKEN用于C4F6?C5F8?COS的檢測(cè)器 TP-70DGⅡ
用于C4F6?C5F8?COS的檢測(cè)器 TP-70DGⅡ
特征：
通過采用含有催化劑的熱分解器，實(shí)現(xiàn)減少干擾帶來的影響
單觸式的傳感器更換方式
搭載新型智能化傳感器
采用易于觀察的大型字符LCD
搭載流量自動(dòng)調(diào)整功能
用途：
用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠內(nèi)的C4F6/C5F8/COS
用于對(duì)儲(chǔ)氣瓶存放柜及半導(dǎo)體制造裝置進(jìn)行檢測(cè)
用于無塵室內(nèi)的環(huán)境監(jiān)測(cè)
產(chǎn)品類別 | 固定式 |
類型 | 智能型檢測(cè)部 |
檢測(cè)對(duì)象氣體 | C4F6/C5F8/COS |
檢測(cè)原理 | 催化＋定電位電解式 |
檢測(cè)范圍 | 0～5ppm（C4F6?C5F8） |
檢測(cè)方式 | 泵吸式 |
報(bào)警種類 | 氣體報(bào)警/故障報(bào)警 |
報(bào)警內(nèi)容 | 1st：ALM1指示燈閃爍、或亮燈(紅色) |
電源 | AC100～240V±10% |
外形尺寸?重量 | 約180(W)×225(H)×285(D)mm（不包含突起部分） |
使用時(shí)的溫濕度范圍 | 20～40℃（無驟變） |
