服務(wù)熱線
| 品牌 | YAMADA/日本雅瑪達(dá) | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
NT1520臺(tái)階儀
產(chǎn)品參數(shù):
KOSAKA小坂研究所臺(tái)階儀NT1520
最大樣品尺寸 | φ220×厚度10mm；可對(duì)應(yīng)4、6、8寸晶圓 |
再現(xiàn)性 | 1σ 0.3nm以內(nèi) |
測(cè)量范圍 | Z:1300µm X:205mm Y:280mm |
分辨率 | Z:0.1nm X:0.01µm Y:0.1µm |
測(cè)定力 | 30µN～600µN，選配：0.5µN～ |
KOSAKA小坂研究所臺(tái)階儀NT1520
產(chǎn)品概述：
• 測(cè)量膜厚、段差，建立配方后可自動(dòng)測(cè)量。
• 直動(dòng)式檢出器，更高精度，高再現(xiàn)性。
• X、Y方向兩軸測(cè)量，工件放置不受限。
• 可搭載機(jī)械手臂，實(shí)現(xiàn)在線全自動(dòng)測(cè)量。
產(chǎn)品概述：
• 測(cè)量膜厚、段差，建立配方后可自動(dòng)測(cè)量。
• 直動(dòng)式檢出器，更高精度，高再現(xiàn)性。
• X、Y方向兩軸測(cè)量，工件放置不受限。
• 可搭載機(jī)械手臂，實(shí)現(xiàn)在線全自動(dòng)測(cè)量。